2024年是新中國成立75周年，是實(shí)現(xiàn)“十四五”規(guī)劃目標(biāo)任務(wù)的關(guān)鍵一年。為全面貫徹落實(shí)黨的二十大精神和習(xí)近平文化思想，中國有研舉辦了“思想領(lǐng)航 賦能向新”優(yōu)秀故事征集活動(dòng)。參賽作品充分展現(xiàn)集團(tuán)上下深入貫徹落實(shí)“1+360+N”有研特色黨建工作體系，圍繞中國有研作為中央企業(yè)行業(yè)院所“托底、引領(lǐng)和賦能”三大核心功能，在服務(wù)國家重大戰(zhàn)略、強(qiáng)化創(chuàng)新引領(lǐng)、履行社會(huì)責(zé)任、弘揚(yáng)時(shí)代新風(fēng)等方面作出的新貢獻(xiàn)、新成就，生動(dòng)講述了有研人在平凡崗位上創(chuàng)造非凡業(yè)績(jī)的奮斗故事。
本期推出“思想領(lǐng)航 賦能向新”有研故事系列展播（十一）——
吸氣研究再突破，“泵”發(fā)有研新活力！
作者：有研工研院
暖水瓶如何能實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期保溫？人造衛(wèi)星又何以按照既定路線暢游太空？同步輻射光源又是怎樣實(shí)現(xiàn)超高亮度？這些問題的背后，都離不開一種叫做吸氣劑的關(guān)鍵材料。
吸氣劑通過物理或化學(xué)的方式吸附真空中的H2、CO、N2等氣體，從而維持或提高真空度，對(duì)慣性傳感器、紅外探測(cè)器、空間行波管等真空器件的精度和壽命有著重要影響。
早在1972年，中國有研就啟動(dòng)了針對(duì)吸氣材料的專項(xiàng)攻關(guān)，經(jīng)過幾代科研人員薪火相傳，現(xiàn)已成長(zhǎng)為國內(nèi)最具技術(shù)實(shí)力的高端吸氣材料產(chǎn)品研制和生產(chǎn)單位。如今吸氣團(tuán)隊(duì)賡續(xù)有研精神血脈，扛起使命擔(dān)當(dāng)，不斷為國家重大需求提供更加堅(jiān)強(qiáng)的材料保障。
用戶有困難，我們來解決
2022年春，有研工研院電子事業(yè)部在走訪用戶時(shí)了解到，他們?cè)谡{(diào)研采購一款應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上的大尺寸異型結(jié)構(gòu)吸氣劑泵，市場(chǎng)上該特定規(guī)格產(chǎn)品尚屬空白，有些供應(yīng)商在了解到技術(shù)需求后表示可以定做，但周期會(huì)比較長(zhǎng)，他們等不了。隨行的技術(shù)人員一聽，立即回應(yīng)：“我們有相關(guān)產(chǎn)品研制經(jīng)驗(yàn)，方便了解一下您這邊的具體需求嗎？或許我們能幫著解決。”
經(jīng)過詳細(xì)的溝通了解后，技術(shù)人員整理帶回了客戶的需求信息，事業(yè)部領(lǐng)導(dǎo)迅速組織了專題研討，大家紛紛表示，“吸氣材料是我們的傳統(tǒng)優(yōu)勢(shì)領(lǐng)域，常規(guī)的吸氣劑泵我們也有成熟產(chǎn)品，這個(gè)產(chǎn)品我們能做。”
“但用戶只答應(yīng)給我們?nèi)齻€(gè)月的時(shí)間，三個(gè)月后必須拿出可以穩(wěn)定供貨的產(chǎn)品，時(shí)間很短，我們沒有失敗的機(jī)會(huì)。”事業(yè)部領(lǐng)導(dǎo)強(qiáng)調(diào)。
大家一聽又面面相覷，“時(shí)間確實(shí)緊張，但在吸氣領(lǐng)域我們絕不能放掉任何一個(gè)潛在客戶。”事業(yè)部領(lǐng)導(dǎo)給大家鼓氣，“我們的前輩打下了那么好的基礎(chǔ)，今天我們是站在巨人的肩膀上，為什么不能再突破一下？”
“這個(gè)任務(wù)我們接了！”公司技術(shù)總監(jiān)劉曉鵬一錘定音，“我來帶領(lǐng)大家梳理這個(gè)產(chǎn)品的技術(shù)難點(diǎn)，一起攻克！”不到兩天的時(shí)間，大家從材料、結(jié)構(gòu)、集成組裝方式、測(cè)試手段4個(gè)方面細(xì)致梳理出了該產(chǎn)品的技術(shù)難點(diǎn)，并制定了初步方案，有針對(duì)性地開展研究，逐一解決。
研究有成效，我們?cè)偻黄?/strong>
用戶對(duì)產(chǎn)品抽速要求高，現(xiàn)有材料無法滿足，研究人員就查閱大量文獻(xiàn)，結(jié)合相圖和熱動(dòng)力學(xué)數(shù)據(jù)庫，在現(xiàn)有的材料體系基礎(chǔ)上進(jìn)行優(yōu)化驗(yàn)證。同時(shí)對(duì)單個(gè)吸氣元件的制備工藝進(jìn)行多輪次改進(jìn)，采用造孔的方式增大了吸氣元件的孔隙率，提升了元件性能；采用一體成型的工藝，大幅度提升了吸氣元件的制備效率。
這種特定規(guī)格的吸氣劑泵沒有可借鑒的先例，結(jié)構(gòu)怎么設(shè)計(jì)？怎么裝配才能避免使用過程中大量散熱對(duì)設(shè)備造成的損害？這是個(gè)棘手的問題，時(shí)間有限，必須減少試錯(cuò)。“我們有擅長(zhǎng)數(shù)值模擬的同事呀，針對(duì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的設(shè)想先用熱場(chǎng)模擬驗(yàn)證一下，你們成立一個(gè)柔性團(tuán)隊(duì)，大家一起解決問題。”時(shí)任事業(yè)部副總楊劍說道。
“這個(gè)片徑減小一點(diǎn)，片距也得調(diào)整，現(xiàn)在熱場(chǎng)模擬還是不符合要求。”“好的，我再調(diào)整一下給你最新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)圖紙。”“這里裝配設(shè)計(jì)絕緣做得不理想。”“我再加個(gè)瓷件吧。”…辦公室和實(shí)驗(yàn)室經(jīng)常能聽到柔性團(tuán)隊(duì)成員在討論問題和商量解決方案。團(tuán)隊(duì)骨干成員扎根實(shí)驗(yàn)室，與設(shè)備為伴，采用兩班倒的模式，幾乎每天都工作至深夜，一干就是兩個(gè)多月。
經(jīng)過反復(fù)迭代，第一臺(tái)泵裝配好了，但這種異型結(jié)構(gòu)無法裝配到現(xiàn)有的測(cè)試設(shè)備上直接測(cè)試，搭建專門的測(cè)試系統(tǒng)時(shí)間又很緊。有人提出：“我們可以設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)換成常用規(guī)格同質(zhì)量產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)試。”“必須讓用戶認(rèn)可這個(gè)測(cè)試方案才行。”楊劍說道。
測(cè)試方案經(jīng)用戶認(rèn)可后，項(xiàng)目組第一時(shí)間安排了測(cè)試，結(jié)果顯示吸氣速率達(dá)到了每克6.5L/s，同等條件下高出國外頂尖產(chǎn)品10%以上，這一結(jié)果遠(yuǎn)超預(yù)期。用戶看到結(jié)果后對(duì)我們的研究成果給予了極大的贊譽(yù)，當(dāng)即表示后續(xù)會(huì)有批量的訂單需求。
“我們做到了！”
產(chǎn)品有訂單，我們保質(zhì)量
產(chǎn)品通過用戶考核后，吸氣團(tuán)隊(duì)立即組織成立產(chǎn)品質(zhì)量專項(xiàng)小組，以公司質(zhì)量手冊(cè)為抓手，全面梳理設(shè)計(jì)工藝文件、建立該產(chǎn)品的工藝制度，落實(shí)生產(chǎn)過程中全方位質(zhì)量控制，確保產(chǎn)品質(zhì)量符合公司和用戶的要求。兩年來大尺寸異型結(jié)構(gòu)吸氣劑泵產(chǎn)品持續(xù)穩(wěn)定供貨，已經(jīng)成為吸氣領(lǐng)域的重要經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。
如今團(tuán)隊(duì)研制的第一臺(tái)大尺寸異型結(jié)構(gòu)吸氣劑泵已經(jīng)在半導(dǎo)體設(shè)備中持續(xù)運(yùn)行兩年時(shí)間，對(duì)極高真空的長(zhǎng)效維持發(fā)揮著不可替代的作用，保障了半導(dǎo)體設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。這一新產(chǎn)品的成功開發(fā)標(biāo)志著我司在真空技術(shù)領(lǐng)域又邁出了堅(jiān)實(shí)的一步。
多年來電子事業(yè)部聚焦提升核心競(jìng)爭(zhēng)力和創(chuàng)新力，面向國家重大戰(zhàn)略需求，面向行業(yè)急需，以高度市場(chǎng)化思維組織籌劃新產(chǎn)品開發(fā)。吸氣團(tuán)隊(duì)繼往開來，積極推動(dòng)“第二場(chǎng)景”應(yīng)用，以科技創(chuàng)新的成果引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新升級(jí)，為中國有研發(fā)揮好“托底、引領(lǐng)和賦能”三大核心功能貢獻(xiàn)綿薄之力。