近期，中國有色金屬工業(yè)協(xié)會、中國有色金屬學(xué)會聯(lián)合發(fā)布了《關(guān)于頒發(fā)2021年度中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎的通知》，有研億金新材料有限公司（簡稱有研億金）主持完成的《集成電路用超高純銅及其合金互連材料的關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化》項目榮獲中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎一等獎。

超高純金屬濺射靶材是集成電路制造用關(guān)鍵材料之一，數(shù)字經(jīng)濟(jì)驅(qū)動下半導(dǎo)體行業(yè)的長期景氣和國產(chǎn)化替代進(jìn)程的加速，對高性能靶材的需求在持續(xù)提升。超高純銅及其合金靶材是先進(jìn)集成電路制造工藝中最重要的互連線材料，在12英寸晶圓制造中用于90nm至7nm先進(jìn)制程芯片內(nèi)元件互連，在后道先進(jìn)封裝中用于芯片間高密度封裝。近年來，隨著全球12英寸晶圓廠不斷涌現(xiàn)（2021年達(dá)到120余座，其中國內(nèi)達(dá)到40余座），超高純銅及其合金靶材年需求量持續(xù)增長，預(yù)計僅國內(nèi)市場用量就達(dá)萬塊以上。突破超高純銅及其合金靶材全流程關(guān)鍵技術(shù)國產(chǎn)化，實現(xiàn)自主保障能力刻不容緩。

本項目成功突破了超高純銅深度凈化、高品質(zhì)熔鑄、微觀組織調(diào)控、高可靠焊接、超高純銅原材料的梯次應(yīng)用及低碳綠色可循環(huán)利用等多項核心關(guān)鍵技術(shù)，成為全球僅有的三家掌握99.9999%級超高純銅及其合金從原材料提純到靶材制備垂直一體化全套技術(shù)的企業(yè)之一，產(chǎn)品性能達(dá)到國際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，躋身成為我國集成電路用關(guān)鍵材料超高純銅及其合金靶材核心供應(yīng)商，改變了該項產(chǎn)品長期被國外壟斷的被動局面，為極大規(guī)模集成電路技術(shù)發(fā)展提供關(guān)鍵支撐，有力地保障了我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈和供應(yīng)鏈安全。

有研億金將繼續(xù)砥礪深耕，致力于集成電路用關(guān)鍵材料核心技術(shù)的新突破，努力成為集成電路核心材料領(lǐng)域的領(lǐng)跑者，爭當(dāng)科技創(chuàng)新主力軍?？萍紡?qiáng)則國家強(qiáng)，有研億金將邁向自主創(chuàng)新的新征程，補(bǔ)短板、鍛長板，勇?lián)萍紡?qiáng)國新使命，為服務(wù)國家戰(zhàn)略需求做出新貢獻(xiàn)！